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無塵車間施工對潔淨度、溫濕度等有一定的耍求
來源:www.tarheelhomepros.com 發布時間:2020年02月23日

為考慮半導體設備加工工藝的耍求,集成電路無塵車間是一間潔淨室。試驗室清潔無菌檢測實驗室-清潔試驗室-微生物安全實驗室的建設規劃包含:工程建築合理布局和室內裝修、空調係統、給水排水、汽體供貨、電氣設計、集中控製係統、智能安防、施工技術、檢驗、學習培訓等多方麵內容。無塵車間施工對自然環境潔淨度等級、溫濕度、震動、靜電放電、AMC操縱等有一定的耍求。與別的工業生產潔淨室對比,集成電路生產製造無塵車間具備總麵積大、清理級別高、溫濕度線性度高等學校特性。


依據潔淨室的氣體循環特點,潔淨室可分成三種種類:含有高效率氣路係統軟件的循環中央空調,帶濕密封性係統軟件的循環電扇和FFU循環係統。


第一種方式普遍用以小規模納稅人和適度性耍求需要的無塵車間工程施工設計方案。針對大規模和高質量的清理生產車間,存有例如高運作成本費和過多室內空間的缺陷。


第二方式的工程施工設計方案能夠 考慮大規模高端集成電路生產製造無塵車間的耍求,但運作成本增加,潔淨室風力、排風量調整艱難,係統更新艱難,實際操作協調能力極低。
第三個FFU循環係統不但節約了實際操作室內空間,安全係數高,運作低成本,實際操作協調能力高,並且能夠 隨時隨地更新和調節,不危害製造。為考慮半導體設備的必須,半導體材料加工製造業中的FFU循環係統逐步形成最關鍵的清潔工程施工設計方案。


FFU循環係統的特性是:全部潔淨室由負壓層、加工工藝輔助層和送風安全通道構成。FFU出示循環氣體的驅動力。將空氣清新和循環氣體混和後,根據超高效送風口將空氣清新和循環氣體送進加工工藝層和加工工藝輔助層,負壓層相對性於加工工藝層為空氣壓力。除此之外,還有一個集成電路生產製造機器設備的製造輔助區,包含開關電源、汽體和有機化學供貨、超純水係統供貨等。


集成電路的生產製造對無塵車間施工的自然環境操縱有嚴苛的耍求。不一樣的加工工藝全過程對潔淨度的耍求也不一樣,比如,光刻工藝耍求在一環節的微自然環境中開展光刻,而有機化學研磨拋光隻必須1000級的自然環境。


除此之外,集成電路生產製造清理生產車間對噪音,震動,照明燈具等有獨特的要求和耍求,尤其潔淨室總體設計中務必耍求的震動操縱。


優良的無塵車間工程施工設計方案,不但能節約資源,減少運作成本費,降低人力資源資金投入,並且為製造出示可以信賴的確保。在三種清理係統軟件中,FFU循環係統運作成本費最少,潔淨度和安全係數最大。因而,在集成電路潔淨車間中,多選用FFU循環係統。潔淨度等級耍求越高,溫濕度線性度越高,潔淨室的項目投資和運作成本費越高。因而,在自然環境潔淨度或溫濕度耍求相對性較低的狀況下,在較高的潔淨度等級或溫濕度操縱地區布局一些核心技術機器設備是IC生產製造淨化車間的工程施工設計方案發展趨勢。

 

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